微小气体质量流量计

一、概述
MF4000系列气体质量流量计是专为管径为3mm~8mm的气体管路中的低速气流的流量计量而设计。螺纹与各种快速
接口可轻松实现机械接口转换，满足用户多种气体管路的要求，该产品可用于过程控制、大气采样等各种工业应用。
MF4003，管道内径为3mm，测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
MF40008，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于气体测量和控制设备、麻醉机、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。
二、MF4000系列气体质量流量传感器的特点：
专为管径为3mm-8mm的气体管路中低速气流的流量计量而设计，进行流体数据统计记录
各种连接方式，易于安装与使用
输出方式灵活 既可通过通讯接口主动上传数据 ，
在麻醉机电子表上具有卓越表现或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电
LED显示瞬时流量和累计流量，允许现场用按键配置流量计参数
可记录自上电以来瞬时流量的最大值和最小值 具有超量程功能 ，
全量程高稳定性、高精度和优良的重复性
三、MF4000系列气体质量流量传感器的机械尺寸

四、MF4003/08系列气体质量流量传感器技术参数

参数	MF4003                                        MF4008	单位
通径	3                                                     8	mm
最大流量	2,3,4,5,                                       10,20,30,40,50	SLPM
量程比	100:1
精度	±（1.5+0.2FS）	%
重复性	0.25	%
零点输出漂移	±30	mV
输出漂移	±0.12	%/℃
响应时间	10（默认，可设置20,50,100,200，500,1000）	ms
工作电源	8~24VDC，50mA
输出方式	线性：RS232/RS485/模拟电压0.5~4.5VDC
显示方式	4位7段LED数码管显示，2个指示灯
指示单位	瞬时流量SLPM;累计流量SL
显示分辨率	0.001，,001,0.1可设置                                     0.01,0.1可设置	SLPM
最大流量压损	100                                              600	Pa
最大工作压力	≤0.5	MPa
工作温度	-10~+55	℃
储存温度	-20~+65	℃
工作湿度	＜95%RH（无结冰，无凝霜）
机械接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm,6mm,8mm快速接头
键盘	三个按键
引出线	5针插座，南士CD R-5
校准方式	空气（20℃，101.325KPa）
重量	55（带BSPT1/4（R1/4）接头） 74（带4mm,8mm快速接头） 71（带6mm快速接头）	g

备注： 1，模拟输出为传感器的标准输出，用户可以根据不同需求选择RS232或RS485输出；
 ，以上参数在为 20℃，101.325KPa下测得